是指(zhi)該泵可在常壓(ya)下啓動抽氣，并(bìng)可将抽吸的氣(qi)體直接🧑🏽🤝🧑🏻排放到(dào)大氣中。泵腔内(nei)無油或其他工(gōng)作介質，壓力等(děng)于或接近油封(feng)真空泵的機械(xiè)真空泵。
截至 2013年，真空(kōng)行業使用的機(ji)械真空泵大多(duō)采用油、水或其(qi)他👣聚合物☁️等流(liu)體作爲泵的工(gong)作介質，在泵内(nèi)具有冷卻、密封(feng)、潤滑等多重功(gong)能。随着科學技(jì)術的發展和真(zhen)空應用👌領域的(de)擴大，原有的機(jī)械真空泵及其(qí)排氣系統有兩(liang)個迫切需要解(jie)決的問題：一是(shi)泵的工作介質(zhi)倒流，污染被❌抽(chōu)容器，而這種回(hui)流在很多情況(kuang)下會影響産品(pǐn)的質量🈲和數量(liang)，增加設備的🔴維(wéi)護成本。其次，真(zhēn)空泵中的介質(zhi)由于某些過程(chéng)中🚶的反應物而(ér)嚴重變質，使泵(beng)無法正常🐉工作(zuò)。
XD系列真空泵 可以達(da)到預期的效果(guo)。
XD系列(lie)真空泵 應用廣泛，主(zhǔ)要表現在以下(xià)幾個方面：
1、低壓化學氣相(xiang)沉積多晶矽制(zhi)備工藝；
在這些生産(chan)過程中經常使(shi)用或産生腐蝕(shí)性氣體和磨🤟料(liào)☔顆🌂粒；
3、對于(yú)除半導體工藝(yì)外的一些會産(chǎn)生顆粒的工藝(yi)，預計顆🍓粒不😄會(hui)混入 XD系列真空泵 的泵油(yóu)中，預計顆粒會(huì)從泵中排出，某(mou)種類型的幹式(shi)機械真空泵可(ke)以滿足要求；
4、在化工、醫藥(yào)、食品行業的蒸(zhēng)餾、幹燥、脫氣、包(bao)裝等過程中♌，應(ying)防止有機溶劑(ji)造成污染，宜選(xuǎn)用 XD系(xì)列真空泵 ；
5、 XD系列真空(kong)泵 用(yong)作一般無油清(qing)潔真空系統的(de)前級泵，防止油(you)污。
